
氮化镓MOS管不仅在材料层面突破了传统硅器件的极限,其独特的结构设计也决定了其在现代电子系统中的关键地位。从芯片架构到系统集成,每一环节都体现了先进半导体技术的融合。
典型的氮化镓MOS管包括:衬底(如硅或碳化硅)、缓冲层、GaN沟道层、AlGaN势垒层、栅介质层(如Al₂O₃)、金属栅极及源漏电极。其中,AlGaN/GaN异质结是产生高密度二维电子气的关键。
为提升器件耐压与可靠性,常采用肖特基栅(Schottky Gate)或MOS栅结构。其中,MOS结构可通过引入高κ介质材料改善栅控能力,降低栅极漏电流,提高开关速度。
未来氮化镓MOS管的发展方向包括:
• 采用更先进的外延生长技术(如MOCVD)以提升晶体质量;
• 推广垂直结构(Vertical GaN MOSFET)以进一步降低导通电阻;
• 开发智能化驱动电路,实现更精确的动态控制。
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