电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点，广泛应用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量。但在使用中，应注意以下影响测量结果的方面：1、减少环境温度和湿度的变化；2、减少边缘效应；3、降低寄生电容；4、使用屏蔽电极并将其接地；5、注意电极支撑材料的泄漏电阻、激励频率和绝缘。