MEMS是电子工业中常用的设备，并且每个人通常都熟悉MEMS。

为了提高大家对MEMS的理解，本文将基于以下三点介绍MEMS：1.什么是MEMS芯片和传感器； 2. MEMS芯片类别； 3.物联网的要求是什么？ MEMS芯片。

如果您对与MEMS相关的内容感兴趣，则不妨继续阅读。

1. MEMS芯片是什么，MEMS传感器MEMS是微机电系统的缩写，中文名称是微机电系统。

简而言之，MEMS芯片就是利用半导体技术在硅芯片上制造电子机械系统。

更生动地说，它是一个微米纳米的机械系统，可以将外部物理和化学信号转换为电信号。

这种芯片可以做什么？最常用的一种是承担传感功能。

整个大型信息系统在某种程度上类似于人类的感觉系统。

例如，MEMS麦克风芯片相当于人的耳朵，可以感知声音。

MEMS扬声器芯片相当于人的嘴巴，可以发出声音。

MEMS加速度计，陀螺仪，磁性传感器芯片相当于人的小脑，可以感应方向和速度。

MEMS压力芯片相当于人的皮肤，可以感知压力。

MEMS化学传感器相当于人的鼻腔，可以感知味道，温度和湿度。

没有MEMS芯片的人工智能和万物的互联等同于没有感觉器官的人。

什么是MEMS传感器？ MEMS传感器是通过将MEMS芯片和专用集成电路芯片（ASIC芯片）封装在一起而形成的装置。

左图是典型MEMS麦克风的内部结构的放大图。

图片右侧的芯片是MEMS芯片，左侧的芯片是ASIC芯片。

右图是封装的MEMS麦克风。

MEMS传感器中最重要的是MEMS芯片。

MEMS芯片可以将外部物理和化学信号转换为电信号，而ASIC可以进一步处理并将MEMS芯片生成的电信号传输到下一级电路。

没有MEMS芯片，MEMS传感器就是没有灵魂的空壳。

2. MEMS产品类别在电气工程领域，MEMS技术已分为四个产品类别：音频：在音频领域，我们有MEMS麦克风和MEMS扬声器。

下图传达了MEMS麦克风的基本特性。

传感器：传感器是MEMS技术的主要应用。

有MEMS陀螺仪，倾角仪，加速度计，流量传感器，气体传感器，压力传感器和磁场传感器。

开关：在我看来，电控开关是MEMS技术特别有趣的应用。

我在本文中介绍的ADGM1004易于控制，并且可以在0Hz至10GHz及更高​​的信号频率下工作。

关断状态下的泄漏电流小于1nA，驱动器寿命至少为十亿个周期。

振荡器：将微机械谐振器与激励电路和维持电路相结合，将产生一个MEMS振荡器。

如果您想研究实际的MEMS组件，可以查阅2017年的一篇新闻，其中我讨论了SiTime的SiT2024BMEMS振荡器。

3.物联网中MEMS设备的要求1.小型用户通常期望IoT设备在办公室和家庭环境中体积小且不引人注目。

根据定义，MEMS并不引人注目。

但是，除了用户要求以外，在某些物联网应用中，可能有必要将设备添加到硬件空间有限的现有机器（例如汽车）中。

在其他情况下（例如可穿戴设备和生物医学应用），小尺寸是必须满足的关键要求。

由于其较小的性质，MEMS满足并超过了这些要求。

2.成本效益规模通常是部署物联网解决方案时的主要问题。

例如，在农田上放置传感器以监测天气和湿度时，每英亩将需要种植许多设备。

或者考虑一种资产跟踪解决方案，其中可能需要跟踪大量（和可变）资产。

在其他应用（例如运输）中，该设备只能使用一次。

MEMS是通过称为光刻的工艺制成的，这使得批量生产变得容易且具有成本效益。

3.低功耗物联网传感器和网关通常需要无线和电池电源。

由于单位成本较低，因此更换整个单位通常比重新安装新电池便宜。

因此，功耗的任何减少都将延长设备的使用寿命。

一些MEMS面临与大型MEMS相同的功率要求。

其他人使用电磁力或其他